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MEMS公共技术平台由无锡微纳产业发展有限公司、中国物联网研究发展中心筹、无锡华润上华半导体有限公司等单位于2010年11月开始共同建设。MEMS公共技术服务平台从完善MEMS

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网址名称：MEMS 公共技术服务平台
网址链接：mems.ciotc.org
网站描述：MEMS公共技术平台由无锡微纳产业发展有限公司、中国物联网研究发展中心筹、无锡华润上华半导体有限公司等单位于2010年11月开始共同建设。MEMS公共技术服务平台从完善MEMS
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